北京电控所属北方华创公司全力以赴保障生产，在保证立式炉设备运行质量的前提下，装机交付进度比预期缩短70%工时，打破国际厂商同类设备20-25天装机时间限制，创造了该设备的最快装机纪录，赢得了客户颁发的“战疫情·创进度”奖。

 本次向客户交付的THEORIS A302L低温退火立式炉系统，是由北方华创自主开发、面向纳米级集成电路工艺的低温热处理设备。THEORIS系列立式炉凭借良好的系统稳定性、精确的温度控制能力和全面的工艺解决方案，广泛应用于国内各大集成电路芯片制造企业。

 此次交付正值疫情防控关键时期，了解到客户紧急的进度需求后，北方华创在设备制造环节预先评估生产周期和交付要求，积极协调内外部各类资源，提前完成了厂内的设备装配制造工作。与此同时，团队全面了解客户现场的防疫要求，协调客户端装机资源，并提前部署装机人员前往当地完成隔离要求，积极配合客户完成进厂准备工作，为客户端装机工作做足了准备。在后续装机过程中，北方华创与客户精诚合作，现场有序作业，在保证设备运行质量的前提下，装机交付进度比预期缩短70%工时，打破国际厂商同类设备20-25天装机时间限制，创造了该设备的最快装机纪录。整个交付过程得到了客户及业内人士的高度评价与认可，展现了国产立式炉在产品表现、客户服务方面的更高水准。