8月28日,国家知识产权局公布第二十六届中国专利奖授奖的决定,北方华创凭借卓越的创新能力与核心技术突破,获中国专利金奖,是本次获金奖的唯一一家半导体设备企业。

  中国专利金奖是我国知识产权领域最高荣誉,由国家知识产权局与世界知识产权组织联合评选,标准严苛,竞争激烈。此次共有30项发明专利获中国专利金奖,10项外观设计专利获中国外观设计金奖;59项发明专利获中国专利银奖,15项外观设计专利获中国外观设计银奖;535项发明、实用新型专利获中国专利优秀奖,48项外观设计专利获中国外观设计优秀奖。

  北方华创此次荣获金奖的专利“射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备”,精准聚焦半导体设备的关键核心技术。该专利技术能够快速扫频至与目标扫频参数相匹配的状态,有效保证脉冲等离子体顺利点火,显著提高匹配性能。通过减小射频电源的反射功率,使得输出的射频功率尽可能加载至负载上,从而降低功耗、提高匹配效率和应用窗口,更好地满足客户先进刻蚀工艺的需求。更为重要的是,该专利技术打破了进口机台在这一领域的独霸局面,为集成电路设备在先进制程领域的国产化打开了关键突破口。

  北方华创获此殊荣,得益于长期以来对知识产权工作的高质量布局与深耕。近年来,在全球半导体产业链深度重构的背景下,公司将知识产权深度嵌入研发、生产与全球经营,构建起立体防护网。截至最新年报,北方华创累计申请专利超11300项,授权超6500项,在中国半导体设备领域首屈一指。公司建立了完善的知识产权质量控制体系,万余件专利申请中发明专利占比超80%,授权率持续保持在80%以上。同时,公司积极推进海外专利布局,海外专利占比超20%,覆盖欧、美、日、韩等关键区域,为拓展海外市场构筑了坚实的法律屏障。此外,公司将知识产权全面融入集成产品开发(IPD)体系,在各业务部门设立知识产权业务伙伴(IPBP)岗位,将知识产权服务直接输送到业务最前端,实现了从立项、研发到上市的全流程护航。

  获奖是全新起点。未来,北方华创将继续以创新为驱动,以知识产权为利剑,持续深耕关键技术创新,加速专利成果产业化,为打造具有全球竞争力的集成电路装备产业贡献更大力量。