何茂栋先后参与国家级、市级多个项目的研究开发                         ■企业/供图

        初见何茂栋时，这位80后“技术大拿”看起来平易近人，平头、中等个子、一身干净整洁的衣服。18年来，他一直致力于集成电路领域高端装备的设计研发及国产化推广应用，用实际行动书写着对高端装备制造行业的热爱和工匠精神。

        近期，北控集团所属京仪装备技术专家何茂栋被评选为“2020年北京市劳动模范”。

        工匠精神的背后是日复一日、年复一年的坚持，18年来，何茂栋锲而不舍地攻关关键核心技术，对工艺进行反复打磨，为高端制造事业做出了积极的贡献。

        “强迫症”带来的订单

        何茂栋总是调侃自己有“强迫症”，“尤其在技术研发中，难免会有‘强迫症’。”而正是他的“强迫症”才让他参与的项目完美而受到肯定。有一次去客户端调试10台设备，在现场接完线后，需要将信号线进行整理并捆扎，他将10台设备的绑扎带整理的均是朝同一个方向，扎带之间的间距几乎相等，就这么一个小小的细节，客户看到后，直接追加了订单。就是他的“强迫症”，不放过一个细节，给公司带来了更多的订单。

        “不喝水”扎根洁净车间

        他在一开始负责温控设备的控制软件编写时，扎入实验第一线，吃住在单位。说是吃住在单位，就是饿了吃几块饼干，由于进出客户工厂的洁净车间需要更换洁净服，他怕“麻烦”就干脆不喝水。在开发温控设备的过程中，需要在客户工厂的洁净车间内进行调试，为了满足客户的原有控制曲线需求，经常是连续在洁净车间内进行联调，经常一干就是大半天。正是他扎根洁净车间，陆续开发出了多款温控设备的控制软件，加快了设备的研发进程。

        “失眠”开发的设备

        2020年注定是让人记忆深刻的一年，在疫情肆虐的二月，何茂栋带领的技术团队接到新的研发项目，针对国外主工艺设备的温控设备，对应的温控设备目前基本被国外厂家所垄断，其控制难度极大，设计难度可想而知，而摆在技术人员面前的时间窗口只有四个月，需要在上半年实现样机的设计开发。这些难题让何茂栋“失眠”了，他倒是乐观地接受了这个事实，“失眠”就干脆带着团队人员通宵，就这样，团队成员都被他传染“失眠”了，经过连续奋战四个月，开发出了高端温控设备，目前已经在客户端进行使用。

        2018年，作为半导体领域高端装备控制系统研究领域专家，何茂栋获得了经开区亦麒麟人才称号，北京经济技术开发区职工创新工作室称号。他先后参与国家863项目子项目“VB法大直径砷化镓单晶炉和退火炉研制”、国家科技重大专项子项目“磷化铟CZ-50型高压单晶炉研制”、北京市科委重点项目“多线切片机国产化样机研制”、北京市科委“多通道低温温控装置设计开发”、中关村管委会“中关村科技园区前沿科技企业技术项目”等多个项目的研究开发。他所开发的Chiller系列产品打破了国外厂家的技术垄断，并实现了批量生产应用，技术达到国际先进水平。诸多成绩的背后，折射出了何茂栋的担当、实干与睿智，也成就了何茂栋今天的荣誉，市劳模当之无愧。

        何茂栋创新工作室共有成员16名，是在半导体集成电路高端装备领域以半导体工艺专用温控装置Chiller为研发目标的科研团队。2018年成立以来，立足于半导体温控领域高端装备的研发与设计，所开发的Chiller系列产品适用于国内外主要半导体工艺设备厂商的产品，覆盖了国内所有的8英寸及12英寸半导体晶圆加工线，该产品的成功开发打破了国外厂家的技术垄断，并实现了批量生产应用，技术达到国际先进水平。

        心中有方向，手中有方法，脚下有力量，在半导体专用温控装置的研发过程中，何茂栋坚守脚踏实地的工匠初心，在实现集成电路领域高端装备的国产化的方向上，一路前行。